Ebenheit-/Positionsmessung der Wafer Greifer

Bereich

Halbleiter-Front End Prozesse

Aufgabenstellung

Distanz

Branche

Elektronik


Optischer Distanzsensor ODSL 9

  • Höhenmessung auf 0,1 mm
  • Konturvermessung bewegter Objekte
  • Stabile, verlässliche Messwerte auch unter schwierigen Bedingungen